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                                    半導體行業潔凈車間潔凈室解決方案是什么?

                                    半導體行業潔凈車間潔凈室解決方案是什么?

                                    時間:2023-7-5 編輯:傳遞窗工程師

                                    半導體行業潔凈車間潔凈室解決方案是什么?

                                    半導體(semiconductor)指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。
                                    半導體在集成電路、消費電子、通信系統、光伏發電、照明、大功率電源轉換等領域都有應用,如二極管就是采用半導體制作的器件。
                                    無論從科技或是經濟發展的角度來看,半導體的重要性都是非常巨大的。大部分的電子產品,如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關聯。
                                    常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等,硅是各種半導體材料應用中最具有影響力的一種。

                                    在半導體潔凈車間行業,生產工藝的環境中,有抗靜電、防微振、高潔凈度、恒溫恒濕、照度、廢氣廢水排放,大宗氣體和特殊氣體排放等要求,且各種配套系統繁多復雜,個別區域的潔凈室潔凈度要求甚至達到十級的標準。

                                    1.潔凈度

                                    半導體凈化車間要確保高潔凈度,必須要對粉塵嚴格控制,保證粉塵只出不進,因此凈化車間要保證正壓。建議在空調機組的基礎上,加裝大型鼓風機,利用鼓風機將經凈化設備的空氣連續不斷地輸入車間內。

                                    2.恒溫恒濕

                                    保持車間內恒溫恒濕,空調機組與鼓風加壓系統統一設計搭配使用。鼓風機與空調系統同開同關,必須保證車間內溫濕度的穩定。

                                    3.氣流走向

                                    半導體凈化車間內設計的空氣流動方向大部分以由上往下為主,因此,在人物流及工藝流程設計時要尤其注意,提前規劃空間設計,避免機械設備擺放突兀,將塵埃細菌等在凈化車間內回旋停滯的機會與時間減至最低程度。

                                    4.建材使用

                                    所有建材均要求平順光滑,以不易產生靜電吸附的材質為宜,從內部斷絕靜電的停留。

                                    5.風淋及除塵

                                    除了科學設計人物流通道,盡量降低人物流移動對氣流及粉塵的影響,所有人物流進出潔凈車間,人必須穿配套防塵服,經風淋室除塵,物體非必要嚴禁進入潔凈車間內,日常通過物體必須經過風淋室吹淋以將表面粉塵除掉。

                                    6.內水使用

                                    半導體凈化車間內使用且只限于去離子水。去離子水可以有效防止水中粉粒污染晶圓,還可以防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)污染金氧半晶體管結構之帶電載子信道,影響半導體組件的工作特性。

                                    7.氣源使用

                                    半導體凈化車間所有用得到的氣源,包括吹干晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣 (98%),吹干晶圓的氮氣甚至要求99.8%以上的高純氮。

                                    技術的發展真的可以用日新月異來形容企業客戶在挑選凈化工程公司時,有哪些注意事項?具體可分為5條注意事項即:了解主體業務、查看公司資質,查看工商信息、實地勘察、貨比三家。

                                    附潔凈度相關知識:

                                    潔凈度指潔凈空氣中空氣含塵(包括微生物)量多少的程度。

                                    凈度100級:大于等于0.5μm的塵粒數大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L),大于等于5μm的塵粒數為0。

                                    ≥0.5μm;0.35粒/L<塵粒數≤3.5粒/L≥5μm;塵粒數=0

                                    潔凈度1000級:大于等于0.5μm的塵粒數大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L),大于等于5μm的塵粒數小于等于300粒/m3(0.3粒/L)?!?.5μm;0.35粒/L<塵粒數≤3.5粒/L≥5μm;塵粒數=0

                                    ≥0.5μm;3.5粒/L<塵粒數≤35粒/L≥5μm;塵粒數≤0.3粒/L

                                    潔凈度10000級:大于等于0.5μm的塵粒數大于35000粒/m3(35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L),大于等于5μm的塵粒數大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。

                                    潔凈度100000級:大于等于0.5μm的塵粒數大于350000粒/m3(350粒/L)到小于等于3500000粒/m3(3500粒/L),大于等于5μm的塵粒數大于3000粒/m3(3粒/L)到小于等于30000粒/m3(30粒/L)。

                                    潔凈度300000級:大于等于0.5μm的塵粒數大于3500000粒/m3(3500粒/L)到小于等于10500000粒/m3(10500粒/L),大于等于5μm的塵粒數大于30000粒/m3(30粒/L)到小于等于90000粒/m3(90粒/L)

                                    ≥0.5μm;3500粒/L<塵粒數≤10500粒/L≥5μm;塵粒數≤90粒/L

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